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ULVAC愛發(fā)科 冷陰極電離真空計 SC1-N
操作性的提高：通過與PC/智能手機的連接，可以進行設定點設置、狀態(tài)確認等。
燈絲壽命通知功能：通過監(jiān)測燈絲功率，可提前通知燈絲壽命。
可連接到不同的測量范圍：復合電離真空計可以根據工藝選擇測定子。
小型化：與之前的產品相比，實現了尺寸的大幅縮小（控制器體積縮小56%），成為同級別最小的產品之一。
更豐富的陣容：除了模擬輸出規(guī)格和串行通信規(guī)格之外，還將增加EtherCAT規(guī)格
一臺三極管金屬電離真空計（正在申請）：即使在惡劣的環(huán)境中，真空計的使用壽命也很長。
壓力測量范圍廣：從大氣壓到高真空范圍（1×10+5～1×10-5Pa）（選配SWU10-R的情況下）。
可以精確的測量大氣壓：可以檢查腔體的開啟情況（當連接了可選的單元SAU時）。
用途
用于有機EL?觸摸屏等制造設備的極限壓力確認以及工藝管理用真空爐等各種工業(yè)真空設備的極限壓力確認
用于在含有多種碳氫化合物（油類）的環(huán)境中進行測量
用于在真空零件加工時殘留切削油和清潔液的環(huán)境中進行測量
用于需要降低測定子更換頻率的真空設備
測量部件和測量電路一體化集成
模擬輸出和設定點輸出
獨立的模擬日志輸出和設定點輸出（顯示單元）
采用DIN標準尺寸48 x 96 mm（顯示單元）
用于半導體，光學和電子零件制造的精密真空設備的壓力范圍內的過程控制
低真空范圍的過程控制，適用于熔解爐等工業(yè)設備
具有多個工藝腔體的真空系統(tǒng)的壓力范圍內的過程控制，例如in-line式濺射設備和晶圓制造設備
| 傳感器 單元 | 顯示單元 | 特征 | ||
| 數字 | 數字4CH | |||
| 皮拉尼真空計 | SW1 SP1 | ISG1 | IM1R1 IM2R1 | ?10-2～10+5Pa ?價格低 |
| 熱的 陰極 真空計 | SH2 | ?5x10-8～9.9x100Pa ?測量范圍廣 ?多離子真空計適用 | ||
| 冷 陰極 真空計 | SC1 | ?5x10-5～1Pa ?低運行成本 | ||
| 電容 壓力計 | CCMT-D | DC15V DC24V | ?陶瓷隔膜規(guī)格 ?可以高精度測量低，中真空 | |
| 特征 | ?測定子一體型 ?類似物輸出 ?設定點輸出 | ?DC24V適用 ?設定點3點 ?查看方便LED | ?4CH同時表示 ?設定點8點 ?節(jié)省空間 | |
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